蓝宝石玻璃蓝宝石超薄片

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蓝宝石超薄片定制;0.1-1mm, 可以双抛和单抛,应用于红外窗口,光学窗口,医疗窗口,蓝宝石衬底,芯片外延衬底片,


衬底片技术参数

规格参数

2 inch

4 inch

6 inch

8inch

直径

50.8 ± 0.1 mm

100 ± 0.1 mm

150 ± 0.1 mm

200 ± 0.1 mm

厚度

430 ± 25 um
或定制

650 ± 25 um
或定制

1300 ± 25 um
或定制

1300 ± 25 um
或定制

粗糙度

Ra ≤ 0.3 nm

Ra ≤ 0.3nmRa ≤ 0.3nm

Ra ≤ 0.3 nm

翘曲度

≤ 10um

≤ 10um≤ 10um

≤ 10um

总厚度偏差

≤ 3 um

≤ 3 um≤ 3 um

≤ 3 um

表面质量

20/10

20/1020/10

20/10

表面状态

双面抛光; 单面抛光

形状

圆形, 带定位边

倒边

45°,C Shape

材质

蓝宝石晶体

备注

蓝宝石晶圆可定制